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應用于真空系統的橡膠主要有兩大類：硫化橡膠和合成橡膠（包括丁基、氯基、丁晴橡膠），此外還有硅酮橡膠和氟橡膠。除了正確的密封結構設計，合理選擇密封材料也是實現真空橡膠密封的關鍵。幾個主要因素會影響真空密封，包括橡膠的耐熱性、耐壓縮變形性、漏氣率、氣透性、出氣率以及升華（失重）。

耐熱性：在真空系統中，橡膠密封件必須具備一定耐熱性，以確保烘烤去氣的順利進行。烘烤溫度在120℃以下和10^-5Pa的真空度下，可采用丁基或丁晴橡膠；若要求烘烤溫度更高且在超高真空環境中工作，則需采用氟橡膠。

耐壓縮變形性：在真空系統中，大多數真空密封件都在壓縮狀態下工作。為了確保密封件的可靠性和壽命，橡膠密封件應具有較小的壓縮變形值（最好小于35%），并具有緩慢的壓縮應力松弛程度（即壓縮應力松弛系數較大）。

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